Die Produkte der modernen Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik sind aus unserem Alltag nicht mehr wegzudenken. Bei zahlreichen technischen Geräten ist dies offensichtlich, wie z.B. bei Mobiltelefonen, PCs (Personal Computer), PDAs (Personal Digital Assistant), Digitalkameras usw. Aber auch in Autos, Lokomotiven, Werkzeugmaschinen, Haushaltsgeräten, ja praktisch in allen technischen Geräten steigt der Anteil mikroelektronischer und mikromechatronischer Komponenten unaufhörlich an. In einem modernen PKW sind einige Dutzend Mikrorechner im Einsatz. Aber auch in der Viehzucht und im Ackerbau hat die Mikrotechnologie Einzug gehalten. Chips unter der Haut zur Dokumentation der Lebensgeschichte von Schlachtvieh (ausgelöst durch Tierseuchen wie BSE) und Satellitennavigation zur Optimierung des Düngemitteleinsatzes sind keine Utopie mehr. Der Fortschritt von Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik vollzieht sich in einem in der bisherigen Technikgeschichte nie erreichten Tempo und ist zu einem Motor der Entwicklung in vielen technischen Bereichen geworden.

In diesem Kurs sollen wesentliche Aspekte hierzu angesprochen werden. Insbesondere sollen den Teilnehmern die technologischen und physikalischen Grundlagen für die Herstellung und Funktion derartiger mikrostrukturierter Bauteile und Systeme anhand exemplarischer Problemstellungen in uns allen bekannten Anwendungsbereichen wie Automobiltechnik, Umweltschutz, Haushalts- und Unterhaltungselektronik etc. nahe gebracht werden.

Zu behandelnde Themen:

• Halbleiterfertigungsprozesse
• Bauelementearchitekturen
• Modellierung und Simulation von Fertigungsschritten, Bauteilfunktion und Systemverhalten
• Test- und Charakterisierungsverfahren
• Anwendungen der Mikroelektronik
• Anwendungen mikromechatronischer Bauteile

Dozenten

• Prof. Dr.-Ing. H. Ryssel (Universität Erlangen-Nürnberg)
• Prof. Dr. G. Wachutka (Technische Universität München)

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Stefan Zimmer, 2004-04-27, 2004-05-11